主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)安裝有測(cè)量和制造設(shè)備的地板或多或少會(huì)有振動(dòng)，而這些振動(dòng)將可能對(duì)電干涉儀等精密儀器設(shè)備造成不利影響，導(dǎo)致測(cè)量數(shù)據(jù)不等。

       隔振臺(tái)，又稱減振臺(tái)或減震臺(tái)，即是消除這些振動(dòng)有效的解決方案，是科學(xué)研究當(dāng)中常用的一種光學(xué)平臺(tái)，用于搭載各類高精度顯微鏡，干涉儀，輪廓儀，摩擦學(xué)，高精度計(jì)量等精密儀器設(shè)備，以消除影響測(cè)量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲，以便營(yíng)造適合該精密設(shè)備的實(shí)驗(yàn)環(huán)境條件。

　　1.什么是主動(dòng)隔振臺(tái)

　　主動(dòng)隔振臺(tái)使用電氣控制，通過(guò)對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng),傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng)，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，防震臺(tái)的主動(dòng)隔振頻率為0.7Hz-200Hz，被動(dòng)隔振頻率>200Hz， 其期能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備中，主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除；允許自由選擇整個(gè)系統(tǒng)的尺寸和配置，可通過(guò)增加隔振模塊的數(shù)量來(lái)支持更大的儀器載重量。安裝簡(jiǎn)單，易操作，穩(wěn)定性高，能*連續(xù)使用多年。

　　2、什么是被動(dòng)隔振臺(tái)

　　被動(dòng)隔振臺(tái)以其*的柔和運(yùn)動(dòng)，易于移動(dòng)的形狀和適當(dāng)?shù)闹亓縼?lái)吸收傳入的振動(dòng)，并消耗振動(dòng)能量進(jìn)行隔振。因此，諸如防振橡膠和空氣彈簧z類的柔軟材料以及可以輕柔移動(dòng)的零件是被動(dòng)隔振臺(tái)的重要元素。

　　主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)采用高阻尼處理技術(shù)和超高性能空氣彈簧，*集成且使用簡(jiǎn)單，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供的被動(dòng)隔振性能。主動(dòng)隔振臺(tái)與被動(dòng)隔振臺(tái)的區(qū)別兩者的區(qū)別在于隔振方法。被動(dòng)隔振臺(tái)是由于材料特性(例如空氣彈簧)而使用抗損失性(粘滯性，空氣阻力等)的控件，而主動(dòng)隔振臺(tái)是被動(dòng)隔振臺(tái)控件的一部分，但使用振動(dòng)(或振動(dòng))，該相位由控制系統(tǒng)進(jìn)行電子調(diào)節(jié)(反相)，該系統(tǒng)命令執(zhí)行器獲取由檢測(cè)傳感器獲得的傳感器信息。